প্রশাসনিক ইউনিট হিসেবে রাজশাহী বিভাগের সৃষ্টি হয় ১৮২৯ খ্রিস্টাব্দে। তখন বিভাগীয় সদর দপ্তর ছিল মুর্শিদাবাদে। মুর্শিদাবাদ, মালদহ, জলপাইগুড়ি, রংপুর, দিনাজপুর, বগুড়া, পাবনা ও রাজশাহী এই ৮টি জেলা নিয়ে গঠিত ছিল তদানিন্তন রাজশাহী বিভাগ। কয়ক বছর পর বিভাগীয় সদর দপ্তর বর্তমান রাজশাহী শহরে রামপুর-বোয়ালিয়া মৌজায় স্থানান্তরিত হয়। পরবর্তীতে ১৮৮৮ সালে বিভাগীয় সদর দপ্তর স্থানান্তরিত হয় জলপাইগুড়িতে। ১৯৪৭ সালে দেশ বিভাগের পর পুনরায় বিভাগীয় সদর দপ্তর রাজশাহীত স্থানান্তিরত হয়। ষাটের দশকের শুরুতে খুলনা বিভাগ শুরু হওয়ার পূর্বে বর্তমান খুলনা বিভাগের জেলাগুলিও রাজশাহী বিভাগের অন্তর্ভুক্ত ছিল। খুলনা বিভাগ আলাদা হওয়ার পর থেকেই রাজশাহী অঞ্চলের আটটি এবং রংপুর অঞ্চলের আটটি মোট ষোলটি জেলা রাজশাহী বিভাগের অন্তর্ভুক্ত ছিল।
গত ৯ মার্চ ২০১০ তারিখে এক সরকারি প্রজ্ঞাপন জারির মাধ্যমে রংপুর অঞ্চলের আটটি জেলা নিয়ে রংপুর বিভাপ গঠন করা হয। রাজশাহী অঞ্চলের আটটি জেলা নিয়ে বর্তমান রাজশাহী বিভাগ নতুন রূপ লাভ করে।
পরিকল্পনা ও বাস্তবায়নে: মন্ত্রিপরিষদ বিভাগ, এটুআই, বিসিসি, ডিওআইসিটি ও বেসিস